THICKNESS DEPENDENCE OF THIN-FILM CONDUCTIVITY

被引：3

作者：

LEDZION, J

KIERUL, J

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1989年 / 114卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2211140215

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：545 / 550

页数：6

共 12 条

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