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THE ROLE OF STRESS ON SILICON DRY OXIDATION-KINETICS
被引：7
作者：
ALEXANDROVA, S
SZEKERES, A
KOPRINAROVA, J
机构：
关键词：
D O I：
10.1088/0268-1242/4/10/008
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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页数：3
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