OIL CONTAMINATION WITH SEM OPERATED IN SPOT SCANNING MODE

被引：21

作者：

CONRU, HW ^{[1
]}

LABERGE, PC ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST PROD DIV,ESSEX JCT,VT 05452

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1975年 / 8卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/8/2/021

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：3