MAGNETIC-FIELD GRADIENT EFFECTS ON ION ENERGY FOR ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE MICROWAVE PLASMA STREAM

被引：115

作者：

MATSUOKA, M

ONO, KI

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1988年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574990

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：25 / 29

页数：5

共 11 条

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