RF-PLASMA SYSTEM FOR THE PRODUCTION OF ULTRAFINE, ULTRAPURE SILICON-CARBIDE POWDER

被引：66

作者：

HOLLABAUGH, CM

HULL, DE

NEWKIRK, LR

PETROVIC, JJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF00544142

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：3190 / 3194

页数：5

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共 7 条

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