HEAVY-ION RADIOFREQUENCY QUADRUPOLE (RFQ) ACCELERATORS, A NEW TOOL FOR ION-IMPLANTATION

被引：5

作者：

ANGERT, N

MULLER, RW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(86)90149-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：969 / 972

页数：4

共 14 条

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