LOW-PRESSURE SPUTTERING OF HIGH-TCNB3GE

被引：9

作者：

KAMMERDINER, L ^{[1
]}

WU, CT ^{[1
]}

LUO, HL ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF SAN DIEGO,DEPT APPL PHYS & INFORMATION SCI,LA JOLLA,CA 92037

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF00659199

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：111 / 115

页数：5

共 7 条

[1]

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