MECHANICAL-BEHAVIOR OF TIC FILM COATED ON MOLYBDENUM BY MAGNETRON SPUTTERING

被引：5

作者：

SHIKAMA, T

SHINNO, H

FUKUTOMI, M

FUJITSUKA, M

OKADA, M

机构：

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1983年 / 18卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00700794

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：3099 / 3104

页数：6

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共 4 条

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