CHARACTERIZATION OF ULTRATHIN POLYIMIDE FILMS (D APPROXIMATELY 11 A) FORMED BY VAPOR-DEPOSITION OF 4,4-OXIDIANILINE AND 1,2,4,5-BENZENETETRACARBOXYLIC ANHYDRIDE

被引:11
作者
GRUNZE, M [1 ]
LAMB, RN [1 ]
机构
[1] UNIV MAINE,DEPT PHYS,ORONO,ME 04469
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.574548
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:1685 / 1686
页数:2
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