FORMATION OF SIC PARTICLES FROM SI(CH3)CL3 BY A PLASMA GAS-PHASE REACTION

被引：6

作者：

KATO, A

OZEKI, T

HOJO, J

机构：

来源：

JOURNAL OF THE LESS-COMMON METALS | 1983年 / 92卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0022-5088(83)90505-2

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页码：L5 / L7

页数：3

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共 3 条

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