METAL-INDUCED CRYSTALLIZATION OF RF SPUTTERED A-SI THIN-FILMS

被引：19

作者：

GREENE, JE

MEI, L

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,DEPT MET,URBANA,IL 61801

[2] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90119-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：27 / 30

页数：4

共 5 条

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