PERFORMANCE-CHARACTERISTICS OF A NEW HIGH-RATE MAGNETRON SPUTTERING CATHODE

被引：3

作者：

CLASS, WH

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1983年 / 107卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90300-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：379 / 385

页数：7

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共 2 条

[1]

CLASS W, 1982, SOLID STATE TECHNOL, V25, P55

[2]

CLASS WH, 1979, SOLID STATE TECHNOL, V22, P61