EXPERIMENTAL INVESTIGATION OF SHAPE CHANGES IN ELECTROCHEMICAL MICROMACHINING THROUGH PHOTORESIST MASKS

被引：18

作者：

ROSSET, E

LANDOLT, D

机构：

来源：

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1989年 / 11卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0141-6359(89)90056-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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