REAL-TIME MONITORING OF HOMOEPITAXIAL AND HETEROEPITAXIAL PROCESSES BY P-POLARIZED REFLECTANCE SPECTROSCOPY

被引：18

作者：

DIETZ, N ^{[1
]}

MILLER, A ^{[1
]}

BACHMANN, KJ ^{[1
]}

机构：

[1] N CAROLINA STATE UNIV,DEPT CHEM ENGN,RALEIGH,NC 27695

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1995年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.579432

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：3