ION MILLING (ION-BEAM ETCHING), 1954-1975 - BIBLIOGRAPHY

被引：18

作者：

HAWKINS, DT ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568549

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1389 / 1398

页数：10