未找到相关数据
REACTIVE ION ETCHING OF POLYMER-FILMS
被引：5
作者：
DEMS, BC
RODRIGUEZ, F
SOLBRIG, CM
NAMASTE, YMN
OBENDORF, SK
机构：
关键词：
D O I：
10.3139/217.890183
中图分类号：
TQ [化学工业];
学科分类号：
0817 ;
摘要：
引用
收藏
页码：183 / 187
页数：5
相关论文