ULTRAHIGH SPEED HIGH ELECTRON-MOBILITY TRANSISTOR LARGE-SCALE INTEGRATION TECHNOLOGY

被引：7

作者：

ABE, M

MIMURA, T

NOTOMI, S

ODANI, K

KONDO, K

KOBAYASHI, M

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574775

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1387 / 1392

页数：6

共 24 条

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