HARD BUBBLE SUPPRESSION AND CONTROLLED STATE GENERATION OF ONE MICRON BUBBLES IN ION-IMPLANTED GARNET-FILMS

被引：9

作者：

HU, HL

GIESS, EA

机构：

[1] IBM CORP,RES LAB,SAN JOSE,CA 95193

[2] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HEIGHTS,NY 10598

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1975.1058957

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1085 / 1087

页数：3

共 9 条

[1]

GIESS EA, 1974, 4D10 3M C PAP

[2]

HSU TL, 1974, 7D4 3M C PAP

[3]

HU HL, 1974, 6D9 3M C PAP

[4]

NORTH JC, 1972, 3 P INT C ION IMPL S, P505

[5]

SLONCZEWSKI JC, 1972, AIP C P, V10, P442

[6]

SMITH AB, 1973, AIP C P, V18, P167

WOLFE, R ;

NORTH, JC ;

BARNS, RL ;

ROBINSON, M ;

LEVINSTE.HJ .

WOLFE, R ;

NORTH, JC .

[9]

WOLFE R, 1972, BELL SYST TECH J, V51, P1936