P-INP PHOTOETCHING

被引：7

作者：

KOHL, PA

HARRIS, DB

WINNICK, J

机构：

[1] School of Chemical Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1990年 / 137卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2086212

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页码：3315 / 3316

页数：2

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共 4 条

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