STUDY OF A FIELD-IONIZATION SOURCE FOR MICROPROBE APPLICATIONS

被引：67

作者：

ORLOFF, JH ^{[1
]}

SWANSON, LW ^{[1
]}

机构：

[1] OREGON GRAD CTR,BEAVERTON,OR 97005

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568497

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1209 / 1213

页数：5

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共 5 条

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