SIMPLE, LOW-COST, AND HIGHLY STABLE PD EVAPORATION SOURCE FOR USE IN UHV

被引：21

作者：

DECOOMAN, BC

VOOK, RW

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571846

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：899 / 900

页数：2

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共 5 条

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