ON SPINODAL DECOMPOSITION IN MAGNETRON-SPUTTERED (TI,ZR) NITRIDE AND CARBIDE THIN-FILMS

被引：76

作者：

KNOTEK, O ^{[1
]}

BARIMANI, A ^{[1
]}

机构：

[1] RHEIN WESTFAL TH AACHEN,INST WERKSTOFFKUNDE,D-5100 AACHEN,FED REP GER

来源：

THIN SOLID FILMS | 1989年 / 174卷

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90868-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：51 / 56

页数：6

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共 5 条

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