PHASE SHIFT CORRECTIONS FOR INFRARED INTERFERENCE MEASUREMENT OF EPITAXIAL LAYER THICKNESS

被引：34

作者：

SCHUMANN, PA

PHILLIPS, RP

OLSHEFSK.PJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2423964

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：368 / &

共 13 条

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