A SIMPLE AND INEXPENSIVE ION-BEAM SPUTTER DEPOSITION SYSTEM

被引：1

作者：

GILLEN, G

THOMAS, RM

WILLIAMS, P

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574235

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：2972 / 2973

页数：2

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共 2 条

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