CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF SILANES

被引:72
作者
JONSSON, U
OLOFSSON, G
MALMQVIST, M
RONNBERG, I
机构
[1] NATL DEF RES INST,DEPT 4,DIV RADIAT BIOL,S-90182 UMEA,SWEDEN
[2] NATL DEF RES INST,DEPT 4,DIV EXPTL MED,S-90182 UMEA,SWEDEN
关键词
Compendex;
D O I
10.1016/0040-6090(85)90253-6
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
15
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页数:7
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