SURFACE STUDIES OF EPITAXIAL BETA-SIC ON SI(100)

被引:73
作者
KAPLAN, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.334150
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1636 / 1641
页数:6
相关论文
共 33 条