EXAMINATION OF SURFACES BY SCANNING WITH CHARGED PARTICLES

被引：15

作者：

PIERCE, TB

PECK, PF

CUFF, DRA

机构：

来源：

NATURE | 1966年 / 211卷 / 5044期

关键词：

D O I：

10.1038/211066a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

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页码：66 / &

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