AES CHARACTERIZATION OF OXIDIZED FILMS OF MG, AL, AND SI

被引：11

作者：

STRAUSSER, YE

JOHANNESSEN, JS

机构：

[1] VARIAN ASSOC,PALO ALTO,CA 94303

[2] STANFORD UNIV,STANFORD,CA 94305

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568905

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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