THIN-FILM EVALUATION TECHNIQUES FOR ESFI SOS TECHNOLOGY

被引：2

作者：

DRUMINSKI, M ^{[1
]}

KUHL, C ^{[1
]}

PREUSS, E ^{[1
]}

SCHWIDEFSKY, F ^{[1
]}

SPLITTGERBER, H ^{[1
]}

TAKACS, D ^{[1
]}

机构：

[1] SIEMENS AG,RES LAB,D-8000 MUNICH 80,FED REP GER

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 15卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.15S1.217

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：217 / 220

页数：4

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共 4 条

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