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HOBSON JP, 1977, 7TH P INT VAC C 3RD, V3, P2663
1ST INTERCONTINENTAL TEST OF UHV TRANSFER DEVICE
被引：4
作者：
HOBSON, JP
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1978年
/
15卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.569819
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1609 / 1611
页数：3
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