INSTRUMENT FOR MEASURING ROUGHNESS OF SUPERSMOOTH SURFACES

被引:33
作者
HILDEBRAND, BP [1 ]
GORDON, RL [1 ]
ALLEN, EV [1 ]
机构
[1] BATTELLE MEM INST, PACIFIC NW LABS, RICHLAND, WA 99352 USA
关键词
D O I
10.1364/AO.13.000177
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:177 / 180
页数:4
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