ANALYSIS OF THIN-FILMS FOR INDUSTRIAL APPLICATIONS WITH A SCANNING AUGER MICROPROBE

被引:3
作者
BACHMANN, G [1 ]
OECHSNER, H [1 ]
SCHOLTES, J [1 ]
机构
[1] UNIV KAISERSLAUTERN,FACHBEREICH PHYS,D-6750 KAISERSLAUTERN,FED REP GER
来源
FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE | 1987年 / 329卷 / 2-3期
关键词
D O I
10.1007/BF00469135
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:190 / 194
页数:5
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