OPTICAL-LAYERS PRODUCED BY SPUTTERING

被引：23

作者：

KIENEL, G

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1981年 / 77卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90377-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：213 / 224

页数：12

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共 6 条

[1] KIENEL G, 1974, JPN J APPL PHYS, P479
[2] KIENEL G, 1973, RES DEV, V11, P49
[3] KIENEL G, 1977, VAK TECH, V29, P108
[4] Macleod H., 2018, THIN FILM OPTICAL FI, V5th ed.
[5] VOSSEN JL, 1971, RCA REV, V32, P289
[6] 1973, Patent No. 2360909