SPUTTERED MOS2 LUBRICANT COATING IMPROVEMENTS

被引：54

作者：

CHRISTY, RI

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1980年 / 73卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90493-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：299 / 307

页数：9

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共 2 条

[1] RF SPUTTERED MOS2 PARAMETER EFFECTS ON WEAR LIFE
CHRISTY, RI
LUDWIG, HR
[J]. THIN SOLID FILMS, 1979, 64 (02) : 223 - 229
[2] DIMIGEN H, 1979, THIN SOLID FILMS, V64, P221, DOI 10.1016/0040-6090(79)90513-3