共 1 条
- [1] CALAWA AR, 1980, AIME ELECTRONIC MATE
LOW-COST SPINNER FOR SEMICONDUCTOR SURFACE PREPARATION PRIOR TO MBE GROWTH
被引：5
作者：
MILLER, DL
NEWMAN, PG
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1981年
/
19卷
/
01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.571005
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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