Controlled cathode sputtering

被引：2

作者：

Timoshenko, G ^{[1
]}

机构：

[1] Massachusetts Inst Technol, Dept Elect Engn, Boston, MA USA

来源：

NATURE | 1937年 / 140卷

关键词：

D O I：

10.1038/140067a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

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共 2 条

[1]

SCELIGER, 1935, Z PHYS, V93, P692

[2]

1935, PHYS REV, V48, P886