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RETICLE GENERATION BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
被引：2
作者：
BERRIAN, DW
DOHERTY, JA
HORVATH, EC
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1979年
/
16卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.570300
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1814 / 1814
页数：1
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