SOME CHARACTERISTICS OF HARD CARBONACEOUS FILMS

被引：49

作者：

OJHA, SM ^{[1
]}

HOLLAND, L ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV SUSSEX,PLASMA MAT PROCESSING,FALMER,SUSSEX,ENGLAND

来源：

THIN SOLID FILMS | 1977年 / 40卷 / JAN期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90097-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：L31 / L32

页数：2

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共 2 条

[1] DEPOSITION OF HARD AND INSULATING CARBONACEOUS FILMS ON AN RF TARGET IN A BUTANE PLASMA [J].

HOLLAND, L ;

OJHA, SM .

THIN SOLID FILMS, 1976, 38 (02) :L17-L19

[2]

HOLLAND L, 1976, Patent No. 3379476