NONDESTRUCTIVE METHOD FOR MEASURING THE SPATIAL-DISTRIBUTION OF MINORITY-CARRIER LIFETIME IN SILICON WAFER

被引：31

作者：

MADA, Y

机构：

[1] Musashino Electrical Communication Laboratory, Nippon Telegraph and Telephone Public Corporation

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.18.2171

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：2171 / 2172

页数：2

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