ELECTRON-BEAM DECOMPOSITION OF UF4 OPTICAL INTERFERENCE LAYERS

被引：6

作者：

ELLIS, WP

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569380

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1316 / 1317

页数：2

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共 2 条

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