FOCUSED ION-BEAMS IN MICROFABRICATION

被引：41

作者：

SELIGER, RL ^{[1
]}

FLEMING, WP ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1663422

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1416 / 1422

页数：7

共 13 条

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