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30-CENTIMETER-DIAMETER ION MILLING SOURCE
被引：13
作者：
ROBINSON, RS
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
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1978年
/
15卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.569570
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：277 / 280
页数：4
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