2 SIMPLE METAL VAPOR-DEPOSITION SOURCES FOR DOWNWARD EVAPORATION IN ULTRAHIGH-VACUUM

被引：4

作者：

STEIGERWALD, DA

EGELHOFF, WF

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576325

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：2