FORMATION OF TITANIUM NITRIDE LAYERS FROM A GASEOUS-PHASE WITH THE PARTICIPATION OF A CHEMICAL-REACTION

被引：6

作者：

MICHALSKI, J

WIERZCHON, T

机构：

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS | 1989年 / 8卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1007/BF01730135

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：779 / 780

页数：2

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共 4 条

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