STANDARDIZED TERMINOLOGY FOR OXIDE CHARGES ASSOCIATED WITH THERMALLY OXIDIZED SILICON

被引:42
作者
DEAL, BE
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2129800
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:979 / 981
页数:3
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共 4 条
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  • [4] [No title captured]