RANGE AND STRAGGLE OF BORON IN PHOTORESIST

被引：12

作者：

BACCARANI, G

PICKAR, KA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(72)90057-3

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：239 / +

页数：1

共 8 条

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