SOME CHARACTERISTICS OF AN ELECTRON-BEAM ION-SOURCE

被引：11

作者：

IMAMURA, H ^{[1
]}

KANEKO, Y ^{[1
]}

IWAI, T ^{[1
]}

OHTANI, S ^{[1
]}

OKUNO, K ^{[1
]}

KOBAYASHI, N ^{[1
]}

TSURUBUCHI, S ^{[1
]}

KIMURA, M ^{[1
]}

TAWARA, H ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,INST PLASMA PHYS,NAGOYA 464,JAPAN

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 188卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90344-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：233 / 238

页数：6