MEASUREMENT OF THE SHEET RESISTIVITY OF A SQUARE WAFER WITH A SQUARE 4-POINT PROBE

被引：40

作者：

KEYWELL, F

DOROSHESKI, G

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1960年 / 31卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1717065

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页码：833 / 837

页数：5

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共 2 条

[1] ADAMS EP, MATH TABLES, V74, P130
[2] MEASUREMENT OF SHEET RESISTIVITIES WITH THE 4-POINT PROBE
SMITS, FM
[J]. BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL, 1958, 37 (03): : 711 - 718