CRYSTALLIZATION IN THIN FILMS OF CARBON AND SILICON MONOXIDE

被引：26

作者：

FUSCHILLO, N

GIMPL, ML

MCMASTER, AD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1714033

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：575 / +

页数：1

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共 8 条

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