DIGITAL POSITION ENCODING OF GALVANOMETER SCANNER IN A LASER MICROSCOPE

被引：2

作者：

LILJEBORG, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1117/12.7976767

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：818 / 822

页数：5

共 7 条

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